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数字式硅晶体少子寿命测试仪为解决太阳能单晶、多晶少子寿命测量,按照标GB/T1553及SEMI MF-1535用频光电导法研制出了数字式少子寿命测试仪。
该设备是按照家标准GB/T1553“硅单晶少数载子寿命测定的频光电导衰减法”制。频光电导衰减法在我半导体集成电路、晶体管、整器件、核探测器行业已运用了三十多年,积累了丰富的使用经验,经过数次十多个单位巡回测试的考验,证明是种成熟可靠的测试方法,别适合于硅块、硅棒研磨面的少子体寿命测量;也可对硅片行测量,给出相对寿命值。方法本身对样品表面的要求为研磨面,制样简便。
数字式硅晶体少子寿命测试仪有以下点:
1、 可测量太阳能多晶硅块、单晶硅棒少数载子体寿命。表面抛光,直接对切割面或研磨面行测量。同时可测量多晶硅检验棒及集成电路、整器、晶体管硅单晶的少子寿命。
2、 可测量太阳能单晶及多晶硅片少数载子的相对寿命,表面抛光、钝化。
3、配备用软件的数字示波器,液晶屏上直接显示少子寿命值,同时显示动态光电导衰退波形,并可联用打印机及计算机。