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匀胶机是在旋转的基片上,滴注胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。
选购巧
从其原理来说,可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节
旋转速度
转速的快慢和控制直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速大。
真空吸附系统的构
如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。
材质的选择
对于半导体化行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时时低的颠簸状态。